Elektrotechnik / Optoelektronik

In kaum einer anderen Industrie finden so große Technologiesprünge statt wie in der Halbleitertechnik. Wurden früher elektrische Verbindungen noch gelötet, finden heute Lithografie-Technologien mit sogenannten Wafer-Steppern im Bereich der Chip-Herstellung bzw. Halbleitertechnik Anwendung. Mit dem Ziel, immer kleinere und leistungsfähigere Chips herzustellen, steigen auch die Ansprüche an die Bauteile der optischen Geräte zur Chipherstellung. Hier können wir auf eine jahrzehntelange, stetig anwachsende Erfahrung hinsichtlich Oberflächenbeschaffenheit und Genauigkeit zurückgreifen – auch für die Systeme der Vakuumtechnik, welche führende Hersteller von lithografischen Systemen für die Halbleiterindustrie anwenden.